主要用途：
本設備主要用於藍寶石襯底、藍寶石外延片、矽片、陶瓷片、石英晶體、碳化矽、鍺片等半導體材料的精密拋光
設備原理及特點：
1、本設備為單麵精密拋光設備，采用先進的機械結構和多種先進控製方法，拋光加工效率高，運行穩定。
2、整機采用PLC+觸摸屏控製係統，設備參數設置和操作簡單方便，係統運行穩定性高。
3、主電機采用變頻調速控製，實現主機軟啟動、軟停機，降低設備運行衝擊，減少工件損傷。
4、工件研磨壓力采用整體氣缸加壓方式，通過電氣比例閥控製實現壓力的閉環控製，保證極高的施壓精度與穩定性。
5、上壓盤采用伺服馬達主動驅動方式，在確保產品拋光速率的前提下保證各工位拋光加工的統一性。
6、拋光盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發揮最大效率的同時減少拋光盤麵的變形。
+8613622378685
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微信掃一掃主要技術參數：
型號 | FD-7104PA | FD-8104PA | FD-9104PA |
拋光盤規格 | 700mm | 810mm | 910mm |
工件盤直徑 | 260mm | 305mm | 360mm |
工件盤壓力 | 30~150kg | 30~150kg | 30~150kg |
加壓方式 | 氣缸加壓 | 氣缸加壓 | 氣缸加壓 |
工作氣壓 | 0.4-0.6MPa | 0.4-0.6MPa | 0.4-0.6MPa |
工件盤轉速 | 5.60rpm(max) | 5.60rpm(max) | 5.60rpm(max) |
拋光盤轉速 | 0-80rpm | 100rpm(max) | 0-80rpm |
主電機功率 | 4KW/380V | 7.5KW/380V | 7.5KW/380V |
壓盤電機功率 | 0.4KW/380Vx4 | 0.4KW/380Vx4 | 0.4KW/380Vx4 |
設備工位數 | 4個 | 4個 | 4個 |
設備外形尺寸 | 1200x1700x2300mm | ≈1150x1050x2200mm | ≈1250x1150x2200mm |
設備重量 | 2100KG | 2300KG | 2350KG |
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